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膜厚儀維修校準(zhǔn)操作的三種方法

時間:2017-11-21 點擊次數(shù):3297
  膜厚儀維修校準(zhǔn)操作的三種方法
  
  膜厚儀維修不必每次使用前都做校準(zhǔn)。但是,當(dāng)基體材料改變時及試樣形狀改變時,都要進(jìn)行一次校準(zhǔn)。校準(zhǔn)時要使用沒有涂層的基試塊和已知厚度值的標(biāo)準(zhǔn)片,基體和標(biāo)準(zhǔn)生要求表面清潔、平整。
  
  1、膜厚儀維修校準(zhǔn)有以下三種方法:
  
  (1)探頭遠(yuǎn)離基體(>15mm),按下CAL鍵,顯示器出現(xiàn)提示“ZERO”、顯示值“0.0”。
  
  (2)在基體上測量5-10次,顯示零點測量結(jié)果的平均值。
  
  (3)連續(xù)按下兩次CAL鍵,儀器接受新的零點,退出校準(zhǔn)狀態(tài),顯示“0”,進(jìn)入測量狀態(tài)。
  
  2、膜厚儀維修多點校準(zhǔn)(用基體和標(biāo)準(zhǔn)片校準(zhǔn))
  
  (1)將探頭遠(yuǎn)離基體,按CAL鍵,提示“ZERO”,顯示“0.0”。
  
  (2)在基體上測量5-10次,顯示零點測量結(jié)果的平昀值。
  
  (3)按CAL鍵,儀器自動校準(zhǔn)零點。提示“STD1”,顯示“0.0”。
  
  (4)取*標(biāo)準(zhǔn)片,放在基體上,測量5-10次,顯示該標(biāo)準(zhǔn)片測量結(jié)果的平均值。
  
  (5)按△或▽鍵,使顯示值與標(biāo)準(zhǔn)片厚度值相等。
  
  (6)按CAL鍵,儀器存入該校準(zhǔn)值后,提示“STD2”顯示“0.0”
  
  (7)重復(fù)(4)-(6)的操作,校準(zhǔn)其它兩個標(biāo)準(zhǔn)片。爾后,儀器退出校準(zhǔn)狀態(tài),顯示“0”,進(jìn)入測量狀態(tài)。
  
  3、膜厚儀維修特性校準(zhǔn)(用已知厚度的參考試樣和標(biāo)準(zhǔn)片校準(zhǔn))
  
  (1)探頭遠(yuǎn)離參考試樣,按下CAL鍵,提示“ZERO”,顯示“0.0”。
  
  (2)按下CAL鍵,提示“STD1”,顯示“0.0”。
  
  (3)在參考試樣上測量5-10次,顯示該試測量結(jié)果的平均值。
  
  (4)按△或▽鍵,使顯示值與參考試樣厚度值相同。
  
  (5)按CAL鍵,儀器存入該校準(zhǔn)值后,提示“STD2”,顯示“0.0”。
  
  (6)取*標(biāo)準(zhǔn)片,放在參考試樣上,測量5-10次,顯示測量結(jié)果一平均值。
  
  (7)按△或▽鍵,使顯示值等于參考試樣厚度值與標(biāo)準(zhǔn)片厚度值之和。
  
  (8)按CAL鍵,儀器存入該校準(zhǔn)值后,提示“STD3”顯示“0.0”。
  
  (9)取第二標(biāo)準(zhǔn)片,放在參考試樣上,測量5-10次,顯示出測量結(jié)果的平均值。
  
  (10)按△或▽健,使顯示值等于參考試樣厚度值與第二標(biāo)準(zhǔn)片厚值之和。
  
  (11)按CAL鍵,校準(zhǔn)結(jié)束,顯示“0.0”儀器進(jìn)入測量狀態(tài)。

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